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產品類別:精密半導體清(qīng)洗設備
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產品(pǐn)功能:
◆采用一套多臂氣動機械手(shǒu)傳動,定位精準,效率高。
◆人機(jī)界麵,PLC程(chéng)序控製,觸摸屏操作。
◆水係型清洗劑、DI水(shuǐ)、IPA清洗(xǐ)幹燥(zào)。
◆間(jiān)接(jiē)式導熱油加熱方式,全自動IPA檢測、滅火裝(zhuāng)置。
◆機架及(jí)全封閉外罩HEPA高效空氣過濾器,防止二次汙染(rǎn)。
◆采用多種清洗頻率清洗設備:40KHz、80KHz、100KHz、120KHz。
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