產（chǎn）品功能:

◆設備烘（hōng）幹，然結一體化（huà）結構緊湊合理，符（fú）合半導體（tǐ）製造標準。

◆穩定可靠的工藝溫（wēn）度控製係（xì）統（tǒng）（采用（yòng）英國WEST溫度控製器）。

◆采用美國進（jìn）口加熱燈管加熱。

◆采用先進的文氏排氣係統，從而（ér）保證了有害氣體的不泄露。

◆設備控製采用工業控製機統一（yī）控製。